真空溅射镀膜装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420564414.2
申请日
2014-09-28
公开(公告)号
CN204198843U
公开(公告)日
2015-03-11
发明(设计)人
余华骏 江维 饶志刚
申请人
申请人地址
437000 湖北省咸宁市经济开发区长江产业园
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
邓云鹏
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
真空溅射镀膜装置 [P]. 
祝海生 ;
力家东 ;
黄乐 ;
孙桂红 ;
潘继峰 .
中国专利 :CN216786250U ,2022-06-21
[2]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
闫都伦 ;
王克斌 ;
吴细标 ;
唐贵民 .
中国专利 :CN204803396U ,2015-11-25
[3]
真空溅射镀膜装置 [P]. 
姜友松 ;
葛鹤龄 ;
程序雳 .
中国专利 :CN119061363A ,2024-12-03
[4]
真空溅射镀膜装置 [P]. 
陈立 ;
薛闯 ;
李俊杰 ;
李新栓 ;
寇立 ;
黄乐 ;
孙桂红 ;
潘继峰 .
中国专利 :CN114318267A ,2022-04-12
[5]
真空溅射镀膜设备 [P]. 
黄国兴 .
中国专利 :CN201704398U ,2011-01-12
[6]
真空溅射镀膜设备 [P]. 
徐中邦 ;
王福平 .
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[7]
真空溅射镀膜系统及真空溅射镀膜方法 [P]. 
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[8]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
王振东 ;
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中国专利 :CN207483836U ,2018-06-12
[9]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
胡兴微 ;
蒋玉东 .
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[10]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
胡兴微 ;
蒋玉东 .
中国专利 :CN212175030U ,2020-12-18