真空溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821341358.0

申请日：

2018-08-20

公开(公告)号：

CN208701195U

公开(公告)日：

2019-04-05

发明(设计)人：

徐中邦王福平

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区苏虹东路277号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

北京同恒源知识产权代理有限公司 11275

代理人：

刘宪池

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

真空溅射镀膜设备 [P].

黄国兴 .

中国专利 :CN201704398U ,2011-01-12

[2]

真空溅射镀膜设备 [P].

黄国兴 .

中国专利 :CN101928924A ,2010-12-29

[3]

真空溅射镀膜装置 [P].

余华骏 ;

江维 ;

饶志刚 .

中国专利 :CN204198843U ,2015-03-11

[4]

真空溅射镀膜装置 [P].

祝海生 ;

力家东 ;

黄乐 ;

孙桂红 ;

潘继峰 .

中国专利 :CN216786250U ,2022-06-21

[5]

具有真空泵保护结构的真空溅射镀膜设备 [P].

黄国兴 .

中国专利 :CN201704399U ,2011-01-12

[6]

真空溅射镀膜系统及真空溅射镀膜方法 [P].

林松涛 .

中国专利 :CN118639196A ,2024-09-13

[7]

真空溅射镀膜装置 [P].

姜友松 ;

葛鹤龄 ;

程序雳 .

中国专利 :CN119061363A ,2024-12-03

[8]

真空溅射镀膜装置 [P].

陈立 ;

薛闯 ;

李俊杰 ;

李新栓 ;

寇立 ;

黄乐 ;

孙桂红 ;

潘继峰 .

中国专利 :CN114318267A ,2022-04-12

[9]

具有真空泵保护结构的真空溅射镀膜设备 [P].

黄国兴 .

中国专利 :CN101928923B ,2010-12-29

[10]

一种真空溅射镀膜设备 [P].

郭鸿杰 ;

徐子鹏 ;

张浩辉 .

中国专利 :CN120249921A ,2025-07-04

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