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一种真空溅射镀膜设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510655536.5
申请日：
2025-05-21
公开(公告)号：
CN120249921A
公开(公告)日：
2025-07-04
发明(设计)人：
郭鸿杰
徐子鹏
张浩辉
申请人：
杭州星河材料科技有限公司
申请人地址：
310000 浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路1155号创业广场B座813室
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C14/34
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
杨杰
法律状态：
公开
国省代码：
浙江省
杭州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-04 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20250521 |