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一种真空溅射镀膜靶

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202423076068.6
申请日：
2024-12-12
公开(公告)号：
CN223509944U
公开(公告)日：
2025-11-04
发明(设计)人：
张彬 张金宝
申请人：
遵化市富森钛金设备有限公司
申请人地址：
064200 河北省唐山市遵化市东二环南路
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
代理机构：
北京汇智英财专利代理有限公司 11301
代理人：
魏红秋
法律状态：
授权
国省代码：
河北省 衡水市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-04 授权 授权
共 50 条
[1]
一种真空溅射镀膜靶材 [P]. 
孔伟华 .
中国专利 :CN216237255U ,2022-04-08
[2]
一种真空溅射镀膜靶材 [P]. 
陈春玲 ;
黄威智 ;
方家芳 .
中国专利 :CN203683650U ,2014-07-02
[3]
一种真空溅射镀膜靶材 [P]. 
陈春玲 ;
黄威智 ;
方家芳 .
中国专利 :CN103668090A ,2014-03-26
[4]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
闫都伦 ;
王克斌 ;
吴细标 ;
唐贵民 .
中国专利 :CN204803396U ,2015-11-25
[5]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
王振东 ;
何万能 .
中国专利 :CN207483836U ,2018-06-12
[6]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
胡兴微 ;
蒋玉东 .
中国专利 :CN212152430U ,2020-12-15
[7]
一种真空溅射镀膜装置 [P]. 
胡兴微 ;
蒋玉东 .
中国专利 :CN212175030U ,2020-12-18
[8]
真空溅射镀膜设备 [P]. 
黄国兴 .
中国专利 :CN201704398U ,2011-01-12
[9]
真空溅射镀膜设备 [P]. 
徐中邦 ;
王福平 .
中国专利 :CN208701195U ,2019-04-05
[10]
真空溅射镀膜装置 [P]. 
余华骏 ;
江维 ;
饶志刚 .
中国专利 :CN204198843U ,2015-03-11
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