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一种真空溅射镀膜靶材
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201420001631.0
申请日：
2014-01-02
公开(公告)号：
CN203683650U
公开(公告)日：
2014-07-02
发明(设计)人：
陈春玲
黄威智
方家芳
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市吴淞江工业园区晨丰东路135号
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
代理机构：
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人：
董建林;汪庆朋
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-24 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/34 变更事项:专利权人 变更前:昆山全亚冠环保科技有限公司 变更后:光洋新材料科技（昆山）有限公司 变更事项:地址 变更前:215300 江苏省苏州市昆山市吴淞江工业园区晨丰东路135号 变更后:215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇晨丰东路135号 |
| 2014-07-02 | 授权 | 授权 |