共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种靶材背面固定式平面靶和真空溅射镀膜设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022854218.7
申请日：
2020-12-01
公开(公告)号：
CN214300328U
公开(公告)日：
2021-09-28
发明(设计)人：
汪选林
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市光明区马田街道马山头社区钟表基地森丰大厦101
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616
代理人：
鲍敬
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-28 | 授权 | 授权 |