硅片制绒槽

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201711203658.2
申请日
2017-11-27
公开(公告)号
CN107988628A
公开(公告)日
2018-05-04
发明(设计)人
陈五奎 刘强 冯加保
申请人
申请人地址
614000 四川省乐山市高新区建业大道888号
IPC主分类号
C30B2906
IPC分类号
C30B3310 H01L2167 H01L310236 H01L3118
代理机构
成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232
代理人
李玉兴
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
硅片清洗制绒工艺 [P]. 
陈五奎 ;
刘强 ;
耿荣军 .
中国专利 :CN107968130B ,2018-04-27
[2]
硅片清洗制绒装置 [P]. 
陈五奎 ;
刘强 ;
徐文州 .
中国专利 :CN107968062A ,2018-04-27
[3]
一种制绒机高温槽及包括其的硅片制绒系统装置 [P]. 
陈龙 .
中国专利 :CN216250763U ,2022-04-08
[4]
一种硅片制绒槽加热装置 [P]. 
宁佐强 ;
何鹏 ;
莫计亨 .
中国专利 :CN214529326U ,2021-10-29
[5]
制绒槽 [P]. 
漆刚 ;
赵柳婷 ;
缪远宝 ;
王志永 ;
庞三凤 .
中国专利 :CN222261091U ,2024-12-27
[6]
一种多晶硅片用制绒槽 [P]. 
楼佳伟 ;
黄炎春 .
中国专利 :CN209658220U ,2019-11-19
[7]
一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置及方法 [P]. 
孟利萍 ;
张锐 .
中国专利 :CN105632980A ,2016-06-01
[8]
一种硅片制绒清洗机用连体槽 [P]. 
邵玉林 .
中国专利 :CN206976296U ,2018-02-06
[9]
一种高产能槽式硅片清洗制绒设备 [P]. 
上官泉元 .
中国专利 :CN212011004U ,2020-11-24
[10]
再利用硅片的制绒方法 [P]. 
符昌京 ;
许明金 ;
方菊英 ;
王家道 ;
王川 ;
聂文广 ;
王庆森 ;
曾德栋 ;
邱维运 .
中国专利 :CN103730347B ,2014-04-16