一种双制绒槽位的槽式多晶硅片制绒装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610150593.9

申请日：

2016-03-16

公开(公告)号：

CN105632980A

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

孟利萍张锐

申请人：

申请人地址：

201400 上海市奉贤区奉浦大道1666号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L310236 H01L3118

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20160601
2016-06-01	公开	公开

共 50 条

[1]

双槽式多晶硅片制绒方法 [P].

陈发胜 ;

史文龙 ;

章圆圆 .

中国专利 :CN103681974B ,2014-03-26

[2]

多晶硅片的制绒槽 [P].

高贵州 ;

唐传勇 .

中国专利 :CN203085619U ,2013-07-24

[3]

一种多晶硅片制绒刻蚀槽 [P].

杨飞飞 ;

焦朋府 ;

赵彩霞 ;

郭卫 ;

张雁东 ;

张波 ;

梁玲 .

中国专利 :CN209150138U ,2019-07-23

[4]

多晶硅片制绒方法 [P].

屈莹 .

中国专利 :CN101876088A ,2010-11-03

[5]

一种多晶硅片用制绒槽 [P].

楼佳伟 ;

黄炎春 .

中国专利 :CN209658220U ,2019-11-19

[6]

多晶硅片制绒装置及方法 [P].

蔡二辉 ;

刘晓巍 ;

徐晓群 .

中国专利 :CN108963033B ,2018-12-07

[7]

一种多晶硅片制绒的制绒液及使用其制绒的方法 [P].

宁鲁豪 ;

王路路 ;

贾慧君 .

中国专利 :CN111092137A ,2020-05-01

[8]

一种多晶硅片制绒方法及制绒液 [P].

吴甲奇 ;

王永谦 ;

吴文娟 ;

缪若文 ;

陈仁军 ;

严婷婷 ;

凌俊 ;

艾凡凡 .

中国专利 :CN103806107A ,2014-05-21

[9]

一种多晶硅片制绒液及制绒方法 [P].

刘桂林 ;

吴文娟 ;

朱海东 .

中国专利 :CN103668466A ,2014-03-26

[10]

多晶硅片酸制绒辅助剂及多晶硅片酸制绒方法 [P].

黄洁 ;

查嘉伟 ;

苏晓东 .

中国专利 :CN109680339A ,2019-04-26

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