多晶硅片制绒方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201010134689.9
申请日
2010-03-19
公开(公告)号
CN101876088A
公开(公告)日
2010-11-03
发明(设计)人
屈莹
申请人
申请人地址
213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号
IPC主分类号
C30B3310
IPC分类号
C23F124 H01L3118
代理机构
常州市维益专利事务所 32211
代理人
周祥生
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅片的制绒工艺 [P]. 
邬时伟 .
中国专利 :CN104009125B ,2014-08-27
[2]
多晶硅片酸制绒辅助剂及多晶硅片酸制绒方法 [P]. 
黄洁 ;
查嘉伟 ;
苏晓东 .
中国专利 :CN109680339A ,2019-04-26
[3]
双槽式多晶硅片制绒方法 [P]. 
陈发胜 ;
史文龙 ;
章圆圆 .
中国专利 :CN103681974B ,2014-03-26
[4]
一种多晶硅片制绒方法 [P]. 
章圆圆 ;
符黎明 ;
区升举 ;
张丽娟 ;
陈培良 .
中国专利 :CN103681958B ,2014-03-26
[5]
多晶硅片制绒及清洗方法 [P]. 
梁杭伟 ;
李家兰 ;
叶雄新 ;
孙小菩 ;
彭华 .
中国专利 :CN105140336B ,2015-12-09
[6]
多晶硅片制绒装置及方法 [P]. 
蔡二辉 ;
刘晓巍 ;
徐晓群 .
中国专利 :CN108963033B ,2018-12-07
[7]
多晶硅片的制绒工艺 [P]. 
张兆民 .
中国专利 :CN107059136A ,2017-08-18
[8]
多晶硅片的制绒方法 [P]. 
铁生年 ;
高梦宇 ;
王军 ;
侯思懿 ;
周莲 ;
房玉双 .
中国专利 :CN104695026A ,2015-06-10
[9]
一种多晶硅片制绒液及制绒方法 [P]. 
刘桂林 ;
吴文娟 ;
朱海东 .
中国专利 :CN103668466A ,2014-03-26
[10]
多晶硅片制绒自动补液装置 [P]. 
陈培良 ;
符黎明 .
中国专利 :CN203474964U ,2014-03-12