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多晶硅片制绒方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201010134689.9
申请日
:
2010-03-19
公开(公告)号
:
CN101876088A
公开(公告)日
:
2010-11-03
发明(设计)人
:
屈莹
申请人
:
申请人地址
:
213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号
IPC主分类号
:
C30B3310
IPC分类号
:
C23F124
H01L3118
代理机构
:
常州市维益专利事务所 32211
代理人
:
周祥生
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2010-11-03
公开
公开
2012-11-07
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101343337073 IPC(主分类):C30B 33/10 专利申请号:2010101346899 申请日:20100319
2015-02-04
授权
授权
共 50 条
[1]
多晶硅片的制绒工艺
[P].
邬时伟
论文数:
0
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0
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邬时伟
.
中国专利
:CN104009125B
,2014-08-27
[2]
多晶硅片酸制绒辅助剂及多晶硅片酸制绒方法
[P].
黄洁
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黄洁
;
查嘉伟
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查嘉伟
;
苏晓东
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苏晓东
.
中国专利
:CN109680339A
,2019-04-26
[3]
双槽式多晶硅片制绒方法
[P].
陈发胜
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陈发胜
;
史文龙
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史文龙
;
章圆圆
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章圆圆
.
中国专利
:CN103681974B
,2014-03-26
[4]
一种多晶硅片制绒方法
[P].
章圆圆
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章圆圆
;
符黎明
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符黎明
;
区升举
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区升举
;
张丽娟
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张丽娟
;
陈培良
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陈培良
.
中国专利
:CN103681958B
,2014-03-26
[5]
多晶硅片制绒及清洗方法
[P].
梁杭伟
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梁杭伟
;
李家兰
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李家兰
;
叶雄新
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叶雄新
;
孙小菩
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孙小菩
;
彭华
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彭华
.
中国专利
:CN105140336B
,2015-12-09
[6]
多晶硅片制绒装置及方法
[P].
蔡二辉
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蔡二辉
;
刘晓巍
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刘晓巍
;
徐晓群
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徐晓群
.
中国专利
:CN108963033B
,2018-12-07
[7]
多晶硅片的制绒工艺
[P].
张兆民
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张兆民
.
中国专利
:CN107059136A
,2017-08-18
[8]
多晶硅片的制绒方法
[P].
铁生年
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铁生年
;
高梦宇
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高梦宇
;
王军
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王军
;
侯思懿
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侯思懿
;
周莲
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周莲
;
房玉双
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房玉双
.
中国专利
:CN104695026A
,2015-06-10
[9]
一种多晶硅片制绒液及制绒方法
[P].
刘桂林
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刘桂林
;
吴文娟
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吴文娟
;
朱海东
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朱海东
.
中国专利
:CN103668466A
,2014-03-26
[10]
多晶硅片制绒自动补液装置
[P].
陈培良
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陈培良
;
符黎明
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符黎明
.
中国专利
:CN203474964U
,2014-03-12
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