双槽式多晶硅片制绒方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310733999.6
申请日
2013-12-27
公开(公告)号
CN103681974B
公开(公告)日
2014-03-26
发明(设计)人
陈发胜 史文龙 章圆圆
申请人
申请人地址
213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇芜申路168号C栋
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
C30B3310
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅片制绒方法 [P]. 
屈莹 .
中国专利 :CN101876088A ,2010-11-03
[2]
多晶硅片的制绒槽 [P]. 
高贵州 ;
唐传勇 .
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[3]
多晶硅片制绒及清洗方法 [P]. 
梁杭伟 ;
李家兰 ;
叶雄新 ;
孙小菩 ;
彭华 .
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[4]
多晶硅片的制绒方法 [P]. 
铁生年 ;
高梦宇 ;
王军 ;
侯思懿 ;
周莲 ;
房玉双 .
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[5]
一种多晶硅片制绒液及制绒方法 [P]. 
刘桂林 ;
吴文娟 ;
朱海东 .
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[6]
金刚线多晶硅片制绒添加剂及金刚线多晶硅片制绒刻蚀液 [P]. 
王懿喆 ;
易武雄 ;
潘鼎鼎 ;
张卫 .
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[7]
多晶硅片酸制绒辅助剂及多晶硅片酸制绒方法 [P]. 
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查嘉伟 ;
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一种多晶硅片制绒方法 [P]. 
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符黎明 ;
区升举 ;
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[9]
一种多晶硅片制绒添加剂及其应用 [P]. 
章圆圆 ;
张丽娟 .
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[10]
一种多晶硅片制绒清洗工艺方法 [P]. 
左国军 ;
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