一种多晶硅片制绒清洗工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310063495.8

申请日：

2013-02-28

公开(公告)号：

CN103151423B

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

左国军李国庆

申请人：

申请人地址：

213125 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

C30B3310 B08B308 B08B302 B08B304

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

胡朝阳;孙洁敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101490727090 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2013100634958 申请日:20130228
2015-09-16	授权	授权
2013-06-12	公开	公开

共 50 条

[1]

多晶硅片制绒方法 [P].

屈莹 .

中国专利 :CN101876088A ,2010-11-03

[2]

多晶硅片制绒及清洗方法 [P].

梁杭伟 ;

李家兰 ;

叶雄新 ;

孙小菩 ;

彭华 .

中国专利 :CN105140336B ,2015-12-09

[3]

多晶硅片的制绒工艺 [P].

邬时伟 .

中国专利 :CN104009125B ,2014-08-27

[4]

一种多晶硅片制绒方法 [P].

章圆圆 ;

符黎明 ;

区升举 ;

张丽娟 ;

陈培良 .

中国专利 :CN103681958B ,2014-03-26

[5]

双槽式多晶硅片制绒方法 [P].

陈发胜 ;

史文龙 ;

章圆圆 .

中国专利 :CN103681974B ,2014-03-26

[6]

一种多晶硅片制绒的清洗方法 [P].

曾石发 .

中国专利 :CN106683981A ,2017-05-17

[7]

一种多晶硅片的制绒方法 [P].

柳杉 ;

黄治国 ;

王鹏 ;

梁晓静 ;

梅超 ;

包兵兵 .

中国专利 :CN103413759A ,2013-11-27

[8]

多晶硅片的制绒工艺 [P].

张兆民 .

中国专利 :CN107059136A ,2017-08-18

[9]

多晶硅片的制绒方法 [P].

铁生年 ;

高梦宇 ;

王军 ;

侯思懿 ;

周莲 ;

房玉双 .

中国专利 :CN104695026A ,2015-06-10

[10]

一种改善多晶硅片出绒率的制绒方法 [P].

郭卫保 ;

陈志运 ;

田小江 ;

李晴 ;

张华 .

中国专利 :CN108505121A ,2018-09-07

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