一种多晶硅片制绒方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310482090.8
申请日
2013-10-16
公开(公告)号
CN103681958B
公开(公告)日
2014-03-26
发明(设计)人
章圆圆 符黎明 区升举 张丽娟 陈培良
申请人
申请人地址
213300 江苏省溧阳市溧城镇芜申路168号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L21306
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅片制绒方法 [P]. 
屈莹 .
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缪若文 ;
陈仁军 ;
严婷婷 ;
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一种多晶硅片的制绒方法 [P]. 
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