金刚线多晶硅片制绒添加剂及金刚线多晶硅片制绒刻蚀液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810671757.1

申请日：

2018-06-26

公开(公告)号：

CN110644049A

公开(公告)日：

2020-01-03

发明(设计)人：

王懿喆易武雄潘鼎鼎张卫

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号

IPC主分类号：

C30B2906

IPC分类号：

C30B3310 H01L310236 H01L3118

代理机构：

上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297

代理人：

邓文武

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/06 申请日:20180626
2020-01-03	公开	公开
2021-12-31	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B 29/06 申请公布日:20200103

共 50 条

[1]

金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂及其应用 [P].

姚伟明 ;

夏庆华 .

中国专利 :CN108193280A ,2018-06-22

[2]

一种多晶硅片制绒添加剂 [P].

陆由东 ;

费婷 ;

倪丽萍 ;

赵海静 .

中国专利 :CN104651949A ,2015-05-27

[3]

多晶硅片酸制绒辅助剂及多晶硅片酸制绒方法 [P].

黄洁 ;

查嘉伟 ;

苏晓东 .

中国专利 :CN109680339A ,2019-04-26

[4]

一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂 [P].

陈春成 ;

戚建静 .

中国专利 :CN112281219A ,2021-01-29

[5]

金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂及其使用方法 [P].

陈国涛 ;

夏庆锋 ;

郑庆刚 .

中国专利 :CN107858757A ,2018-03-30

[6]

多晶硅片制绒方法 [P].

屈莹 .

中国专利 :CN101876088A ,2010-11-03

[7]

金刚线多晶硅片制绒辅助剂及其应用 [P].

章圆圆 ;

裴银强 ;

符黎明 .

中国专利 :CN107245761A ,2017-10-13

[8]

一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒添加剂及其应用 [P].

张占香 .

中国专利 :CN109355711A ,2019-02-19

[9]

多晶硅片的制绒工艺 [P].

张兆民 .

中国专利 :CN107059136A ,2017-08-18

[10]

一种多晶硅片制绒方法及制绒液 [P].

吴甲奇 ;

王永谦 ;

吴文娟 ;

缪若文 ;

陈仁军 ;

严婷婷 ;

凌俊 ;

艾凡凡 .

中国专利 :CN103806107A ,2014-05-21

← 1 2 3 4 5 →