共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种纳米粒子图案化装置及纳米粒子图案化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911028123.5
申请日：
2019-10-28
公开(公告)号：
CN112736212A
公开(公告)日：
2021-04-30
发明(设计)人：
周淼
赵金阳
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
H01L5156
IPC分类号：
B82Y1000
B82Y3000
B82Y4000
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
黄灵飞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20191028 |
| 2021-04-30 | 公开 | 公开 |