氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921031744.4

申请日：

2019-07-03

公开(公告)号：

CN210166373U

公开(公告)日：

2020-03-20

发明(设计)人：

王明王晶沈飞

申请人：

申请人地址：

214117 江苏省无锡市鹅湖镇甘露群联村

IPC主分类号：

G01N3300

IPC分类号：

C01B719 B01F724 B01D2901

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228

代理人：

冯智文

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-20	授权	授权

共 50 条

[1]

氢氟酸蚀刻制程废酸资源化方法 [P].

巫协森 ;

陈松章 .

中国专利 :CN105951102A ,2016-09-21

[2]

蚀刻制程废酸循环再利用生产系统 [P].

王明 ;

王晶 ;

沈飞 .

中国专利 :CN210163330U ,2020-03-20

[3]

具有预蚀刻制程的蚀刻装置 [P].

苏胜义 ;

乔鸿培 ;

吕理榕 ;

苏绍君 ;

钟添达 ;

黄世达 ;

巫坤星 .

中国专利 :CN214458338U ,2021-10-22

[4]

一种蚀刻制程陶瓷桶清洗装置 [P].

范银波 .

中国专利 :CN222112935U ,2024-12-06

[5]

一种电子级氢氟酸生产废酸回收装置 [P].

周瑞 ;

龙飞 ;

刘腾 ;

李刚 ;

李遵坡 ;

张增孝 ;

牛兆树 ;

韩伟 ;

崔海波 ;

张林林 .

中国专利 :CN223233488U ,2025-08-19

[6]

氢氟酸回收装置 [P].

魏学 ;

赵兴国 ;

唐䶮惕 ;

马忠平 ;

龚新宝 .

中国专利 :CN216426764U ,2022-05-03

[7]

废酸回收装置 [P].

刘录 .

中国专利 :CN204841187U ,2015-12-09

[8]

废酸回收装置 [P].

孟锦 ;

崔乐 ;

韩锋 ;

刘佳 ;

刘泽 .

中国专利 :CN217463737U ,2022-09-20

[9]

一种电子行业蚀刻制程废酸回用及资源化循环利用工艺 [P].

刘兵 ;

王涛 ;

吴鹏珍 .

中国专利 :CN103225079B ,2013-07-31

[10]

管道废酸回收装置 [P].

郭绍川 .

中国专利 :CN201990489U ,2011-09-28

← 1 2 3 4 5 →