具有预蚀刻制程的蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120483397.X

申请日：

2021-03-05

公开(公告)号：

CN214458338U

公开(公告)日：

2021-10-22

发明(设计)人：

苏胜义乔鸿培吕理榕苏绍君钟添达黄世达巫坤星

申请人：

申请人地址：

中国台湾台北市

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

C23F102

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟;王锦阳

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

具有预蚀刻制程的蚀刻装置 [P].

苏胜义 ;

乔鸿培 ;

吕理榕 ;

苏绍君 ;

钟添达 ;

黄世达 ;

巫坤星 .

中国专利 :CN115011962A ,2022-09-06

[2]

面板蚀刻制程的方法及其装置 [P].

陈春夏 .

中国专利 :CN101051604A ,2007-10-10

[3]

面板蚀刻制程的方法及其装置 [P].

陈春夏 .

中国专利 :CN101051602A ,2007-10-10

[4]

面板蚀刻制程的方法及其装置 [P].

陈春夏 .

中国专利 :CN101051603A ,2007-10-10

[5]

氢氟酸蚀刻制程废酸回收检测装置 [P].

王明 ;

王晶 ;

沈飞 .

中国专利 :CN210166373U ,2020-03-20

[6]

转印滚轮蚀刻制造设备及滚轮蚀刻装置 [P].

林刘恭 .

中国专利 :CN214271055U ,2021-09-24

[7]

氢氟酸蚀刻制程废酸资源化方法 [P].

巫协森 ;

陈松章 .

中国专利 :CN105951102A ,2016-09-21

[8]

具有蚀刻液过滤功能的蚀刻装置 [P].

蒋英 ;

邹杰 .

中国专利 :CN222250987U ,2024-12-27

[9]

一种蚀刻制程陶瓷桶清洗装置 [P].

范银波 .

中国专利 :CN222112935U ,2024-12-06

[10]

立式湿制程蚀刻机 [P].

吕理榕 ;

巫坤星 ;

杨延鸿 ;

锺添达 .

中国专利 :CN210725530U ,2020-06-09

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