具有蚀刻液过滤功能的蚀刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421673001.8

申请日：

2024-07-15

公开(公告)号：

CN222250987U

公开(公告)日：

2024-12-27

发明(设计)人：

蒋英邹杰

申请人：

东莞市明鑫精密智造有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市麻涌镇广麻大道126号67号楼102室

IPC主分类号：

C23F1/08

IPC分类号：

B01F27/93 B01D29/03

代理机构：

广州吱咕知识产权代理事务所(普通合伙) 44848

代理人：

杨克成

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-27	授权	授权

共 50 条

[1]

具有连续蚀刻功能的蚀刻装置 [P].

刘小辉 ;

付送安 .

中国专利 :CN222119394U ,2024-12-06

[2]

蚀刻液监控装置及具有该蚀刻液监控装置的蚀刻设备 [P].

陈德和 .

中国专利 :CN208572572U ,2019-03-01

[3]

蚀刻液抽取过滤装置 [P].

周群飞 ;

饶桥兵 ;

杨颜忠 .

中国专利 :CN208003570U ,2018-10-26

[4]

具有预蚀刻制程的蚀刻装置 [P].

苏胜义 ;

乔鸿培 ;

吕理榕 ;

苏绍君 ;

钟添达 ;

黄世达 ;

巫坤星 .

中国专利 :CN214458338U ,2021-10-22

[5]

具有精修蚀刻功能的蚀刻机 [P].

陈德和 .

中国专利 :CN209497700U ,2019-10-15

[6]

蚀刻液供应装置、蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

崔浩根 ;

郑培铉 ;

金龙佑 .

中国专利 :CN101140374A ,2008-03-12

[7]

蚀刻设备及其蚀刻装置 [P].

苏骞 ;

刘全胜 ;

金永哲 ;

乌磊 ;

孟敏 .

中国专利 :CN205881882U ,2017-01-11

[8]

蚀刻液的再生方法，蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

伊豆田信彦 ;

渡津春留 .

中国专利 :CN101303976A ,2008-11-12

[9]

蚀刻液循环系统及蚀刻装置 [P].

谭芳 .

中国专利 :CN109023375B ,2018-12-18

[10]

一种蚀刻液循环装置以及具有该装置的蚀刻设备 [P].

郑庆靓 ;

汤茂林 ;

刘贵福 ;

李洋 .

中国专利 :CN222524680U ,2025-02-25

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