一种大尺寸单晶金刚石异质外延生长的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010015168.5

申请日：

2020-01-07

公开(公告)号：

CN111088523B

公开(公告)日：

2020-05-01

发明(设计)人：

李成明郑宇亭邵思武刘金龙魏俊俊陈良贤

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

C30B2518

IPC分类号：

C30B2520 C30B2904 C30B2516 C30B2302 C30B2902 C30B3302

代理机构：

北京市广友专利事务所有限责任公司 11237

代理人：

张仲波

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	公开	公开
2021-04-20	授权	授权
2020-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/18 申请日:20200107

共 50 条

[1]

一种高质量大尺寸单晶金刚石外延生长的方法 [P].

李成明 ;

郑宇亭 ;

邵思武 ;

朱肖华 ;

刘金龙 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 .

中国专利 :CN111206280A ,2020-05-29

[2]

一种高温脉冲偏压辅助金刚石单晶异质外延生长方法 [P].

朱泓达 ;

李一村 ;

代兵 ;

杨世林 ;

朱嘉琦 ;

刘康 .

中国专利 :CN120400990A ,2025-08-01

[3]

一种异质外延生长大尺寸单晶金刚石的衬底及其制备方法 [P].

王杨 ;

代兵 ;

朱嘉琦 ;

舒国阳 .

中国专利 :CN104499047A ,2015-04-08

[4]

一种大尺寸单晶金刚石外延片的拼接生长方法 [P].

闫宁 ;

赵延军 ;

范波 ;

徐帅 .

中国专利 :CN110079860A ,2019-08-02

[5]

一种基于异质外延生长单晶金刚石的方法 [P].

张景文 ;

陈旭东 ;

王进军 ;

李洁琼 ;

卜忍安 ;

王宏兴 ;

侯洵 .

中国专利 :CN107268076A ,2017-10-20

[6]

一种大尺寸单晶金刚石的制备方法及大尺寸单晶金刚石 [P].

张道华 ;

崔新春 ;

胡浩林 .

中国专利 :CN120384327A ,2025-07-29

[7]

一种大尺寸单晶金刚石的制备方法 [P].

李明君 ;

李志博 ;

李高金 ;

吕申申 .

中国专利 :CN118422328A ,2024-08-02

[8]

一种大尺寸单晶金刚石的抛光方法 [P].

陆静 ;

肖平 ;

徐西鹏 ;

王艳辉 ;

罗求发 .

中国专利 :CN110774153A ,2020-02-11

[9]

一种双圆台衬底托辅助异质外延大尺寸单晶金刚石的方法 [P].

王启亮 ;

张智华 ;

刘学 ;

牟草源 ;

李根壮 ;

李柳暗 ;

吕宪义 ;

邹广田 .

中国专利 :CN117431622A ,2024-01-23

[10]

大尺寸单晶金刚石的制备方法 [P].

王忠强 ;

王琦 ;

梁智文 ;

陶仁春 ;

刘强 ;

王新强 .

中国专利 :CN117604636A ,2024-02-27

← 1 2 3 4 5 →