一种异质外延生长大尺寸单晶金刚石的衬底及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410794743.0
申请日
2014-12-20
公开(公告)号
CN104499047A
公开(公告)日
2015-04-08
发明(设计)人
王杨 代兵 朱嘉琦 舒国阳
申请人
申请人地址
150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
IPC主分类号
C30B2904
IPC分类号
C30B2518 H01L2102
代理机构
哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206
代理人
高媛
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
用于外延生长大尺寸单晶金刚石的复合衬底的制备方法 [P]. 
周兵 ;
马永 ;
于盛旺 ;
王永胜 ;
郑可 ;
吴艳霞 ;
黑鸿君 ;
高洁 .
中国专利 :CN113832541A ,2021-12-24
[2]
用于外延生长大尺寸单晶金刚石的复合衬底的制备方法 [P]. 
周兵 ;
马永 ;
于盛旺 ;
王永胜 ;
郑可 ;
吴艳霞 ;
黑鸿君 ;
高洁 .
中国专利 :CN113832541B ,2024-02-09
[3]
一种大尺寸单晶金刚石异质外延生长的方法 [P]. 
李成明 ;
郑宇亭 ;
邵思武 ;
刘金龙 ;
魏俊俊 ;
陈良贤 .
中国专利 :CN111088523B ,2020-05-01
[4]
一种同质/异质混合外延生长大尺寸单晶金刚石的制备方法 [P]. 
周兵 ;
于盛旺 ;
马永 ;
王永胜 ;
郑可 ;
黑鸿君 ;
吴艳霞 ;
高洁 .
中国专利 :CN113774479B ,2021-12-10
[5]
一种基于异质外延生长单晶金刚石的方法 [P]. 
张景文 ;
陈旭东 ;
王进军 ;
李洁琼 ;
卜忍安 ;
王宏兴 ;
侯洵 .
中国专利 :CN107268076A ,2017-10-20
[6]
大尺寸单晶金刚石衬底及其制备方法 [P]. 
冯志红 ;
刘庆彬 ;
何泽召 ;
马孟宇 ;
周闯杰 ;
余浩 ;
李鹏雨 ;
蔚翠 .
中国专利 :CN118957752A ,2024-11-15
[7]
一种双圆台衬底托辅助异质外延大尺寸单晶金刚石的方法 [P]. 
王启亮 ;
张智华 ;
刘学 ;
牟草源 ;
李根壮 ;
李柳暗 ;
吕宪义 ;
邹广田 .
中国专利 :CN117431622A ,2024-01-23
[8]
一种大尺寸单晶金刚石的制备方法 [P]. 
李明君 ;
李志博 ;
李高金 ;
吕申申 .
中国专利 :CN118422328A ,2024-08-02
[9]
一种异质外延单晶金刚石复制生长方法 [P]. 
魏强 ;
林芳 ;
张晓凡 ;
陈根强 ;
王宏兴 .
中国专利 :CN114016128A ,2022-02-08
[10]
一种降低铱衬底异质外延单晶金刚石表面缺陷的方法 [P]. 
曹光宇 ;
张星 ;
陈永超 .
中国专利 :CN116988162B ,2024-05-17