一种基板传送装置及真空传送设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220254785.1
申请日
2012-05-31
公开(公告)号
CN202601596U
公开(公告)日
2012-12-12
发明(设计)人
关跃征 刘保力 吴平
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区经济技术开发区西环中路8号
IPC主分类号
H01L21677
IPC分类号
代理机构
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人
黄志华
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种传送装置及玻璃基板传送设备 [P]. 
王志周 ;
王俊明 ;
张志刚 ;
赵玉乐 .
中国专利 :CN215923727U ,2022-03-01
[2]
一种真空传送设备及真空传送系统 [P]. 
何超 ;
王贺 .
中国专利 :CN223712734U ,2025-12-23
[3]
传送装置及传送设备 [P]. 
饶桥兵 ;
桂庆冬 .
中国专利 :CN206705255U ,2017-12-05
[4]
一种玻璃基板传送滚轴及玻璃基板传送设备 [P]. 
崔永鑫 ;
邱勇 ;
黄秀颀 ;
岳伟星 ;
刘海亮 .
中国专利 :CN203582001U ,2014-05-07
[5]
一种传送装置、传送设备和传送系统 [P]. 
朱开放 ;
钟诚 ;
郑晓峰 ;
李建斌 ;
方谋勇 ;
杨旺江 .
中国专利 :CN211768283U ,2020-10-27
[6]
基板承载装置及基板传送设备 [P]. 
林子锦 ;
隋娜 ;
舒文韬 ;
罗江波 ;
杨仲青 .
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[7]
基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法 [P]. 
李健 ;
李晶晶 ;
刘浏 ;
李朝阳 ;
陈巍 ;
高亚东 ;
任立志 .
中国专利 :CN106976693B ,2017-07-25
[8]
一种传送装置和传送设备 [P]. 
陈霖东 ;
刘晓涛 ;
凌杰 .
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[9]
基板传送设备 [P]. 
栗田真一 ;
北村典彦 ;
罗宾·L·蒂纳 ;
潘玉赫 ;
乌贾瓦尔·库马尔·加哈 .
中国专利 :CN110114864A ,2019-08-09
[10]
基板传送设备 [P]. 
丁鸿泰 ;
杨一德 .
中国专利 :CN207903511U ,2018-09-25