有机物沉积装置及有机物沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410079758.9

申请日：

2014-03-06

公开(公告)号：

CN104561923A

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

李正浩赵喆来金善浩

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1604

IPC分类号：

C23C1648

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

余朦;王艳春

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/04 申请日:20140306 授权公告日:20190201 终止日期:20210306
2016-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101687203270 IPC(主分类):C23C 16/04 专利申请号:2014100797589 申请日:20140306
2015-04-29	公开	公开
2019-02-01	授权	授权

共 50 条

[1]

有机物沉积装置及有机物沉积方法 [P].

崔昌植 ;

任暎 ;

李塋钟 ;

金省护 ;

金宣焃 ;

李程均 ;

黄仁镐 .

中国专利 :CN106381466B ,2017-02-08

[2]

有机物沉积装置 [P].

金学民 .

中国专利 :CN103789731A ,2014-05-14

[3]

有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法 [P].

崔昌植 ;

任暎 ;

李塋钟 ;

金省护 ;

金宣焃 ;

李程均 ;

黄仁镐 .

中国专利 :CN104756276B ,2015-07-01

[4]

有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法 [P].

李侑钟 ;

许明洙 ;

郑成镐 ;

韩尚辰 ;

姜有珍 ;

徐敏逵 ;

韩种馩 .

中国专利 :CN110117770A ,2019-08-13

[5]

有机物沉积装置及方法 [P].

孙镇石 ;

朴宰奭 ;

全镇弘 ;

金明圭 .

中国专利 :CN108374146B ,2018-08-07

[6]

沉积装置及利用其的有机物沉积方法 [P].

高晙赫 ;

姜敏求 .

中国专利 :CN107881464B ,2018-04-06

[7]

基板、选择性膜沉积方法、有机物的沉积膜及有机物 [P].

新免益隆 ;

冈田卓也 ;

山本纯基 ;

滩野亮 ;

宫崎达夫 .

中国专利 :CN113272471A ,2021-08-17

[8]

一种有机物多级沉积装置 [P].

闫香阁 .

中国专利 :CN214880839U ,2021-11-26

[9]

喷射沉积有机物蒸汽的方法和装置 [P].

马克斯·施泰因 ;

斯蒂芬·R·福里斯特 .

中国专利 :CN1568377A ,2005-01-19

[10]

有机物降解装置及有机物降解方法 [P].

李辉雄 .

中国专利 :CN114101296A ,2022-03-01

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