有机物沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310292706.5

申请日：

2013-07-12

公开(公告)号：

CN103789731A

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

金学民

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1412 H05B3310 H01L5156

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

齐葵;周艳玲

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20140514
2015-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101634461327 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013102927065 申请日:20130712
2014-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

有机物沉积装置及有机物沉积方法 [P].

李正浩 ;

赵喆来 ;

金善浩 .

中国专利 :CN104561923A ,2015-04-29

[2]

有机物沉积装置及有机物沉积方法 [P].

崔昌植 ;

任暎 ;

李塋钟 ;

金省护 ;

金宣焃 ;

李程均 ;

黄仁镐 .

中国专利 :CN106381466B ,2017-02-08

[3]

有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法 [P].

李侑钟 ;

许明洙 ;

郑成镐 ;

韩尚辰 ;

姜有珍 ;

徐敏逵 ;

韩种馩 .

中国专利 :CN110117770A ,2019-08-13

[4]

有机物沉积装置及利用该装置的有机物沉积方法 [P].

崔昌植 ;

任暎 ;

李塋钟 ;

金省护 ;

金宣焃 ;

李程均 ;

黄仁镐 .

中国专利 :CN104756276B ,2015-07-01

[5]

有机物沉积装置及方法 [P].

孙镇石 ;

朴宰奭 ;

全镇弘 ;

金明圭 .

中国专利 :CN108374146B ,2018-08-07

[6]

沉积装置及利用其的有机物沉积方法 [P].

高晙赫 ;

姜敏求 .

中国专利 :CN107881464B ,2018-04-06

[7]

一种有机物多级沉积装置 [P].

闫香阁 .

中国专利 :CN214880839U ,2021-11-26

[8]

喷射沉积有机物蒸汽的方法和装置 [P].

马克斯·施泰因 ;

斯蒂芬·R·福里斯特 .

中国专利 :CN1568377A ,2005-01-19

[9]

基板、选择性膜沉积方法、有机物的沉积膜及有机物 [P].

新免益隆 ;

冈田卓也 ;

山本纯基 ;

滩野亮 ;

宫崎达夫 .

中国专利 :CN113272471A ,2021-08-17

[10]

有机物处理装置 [P].

石田泰启 ;

坂本宪正 ;

南条博已 ;

宗塚任功 .

中国专利 :CN1231303C ,2003-03-12

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