传输系统及半导体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310750274.8

申请日：

2013-12-31

公开(公告)号：

CN104752289B

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

宗令蓓

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-01	公开	公开
2017-10-10	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760609932 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2013107502748 变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2018-05-08	授权	授权
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618651463 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2013107502748 申请日:20131231

共 50 条

[1]

传输系统、反应腔室及半导体加工设备 [P].

张慧 ;

吴军 .

中国专利 :CN104934353A ,2015-09-23

[2]

半导体加工设备及其传输系统及基片的传输方法 [P].

韦磊 .

中国专利 :CN101764076A ,2010-06-30

[3]

传输腔室及半导体加工设备 [P].

金春吉 .

中国专利 :CN107346757A ,2017-11-14

[4]

传输定位系统及半导体加工设备 [P].

张孟湜 .

中国专利 :CN105206555B ,2015-12-30

[5]

半导体加工设备的晶片传输方法和半导体加工设备 [P].

周法福 ;

刘耀琴 ;

黄扬君 ;

肖托 .

中国专利 :CN111524845A ,2020-08-11

[6]

半导体加工设备及晶圆传输平台 [P].

周仁 ;

吴飚 ;

石帅 ;

吴刘兴 .

中国专利 :CN115692258A ,2023-02-03

[7]

片盒位置检测装置、传输系统及半导体加工设备 [P].

张鹏 .

中国专利 :CN104576436B ,2015-04-29

[8]

用于半导体加工设备的悬臂推拉舟系统及半导体加工设备 [P].

赵庆峰 ;

于皓洁 ;

王晓飞 .

中国专利 :CN211320070U ,2020-08-21

[9]

一种传输装置及半导体加工设备 [P].

宗令蓓 .

中国专利 :CN105097625A ,2015-11-25

[10]

晶圆传输腔室及半导体加工设备 [P].

曾沛钦 .

中国专利 :CN221861596U ,2024-10-18

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