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半导体加工设备及其传输系统及基片的传输方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200810225186.5
申请日：
2008-10-30
公开(公告)号：
CN101764076A
公开(公告)日：
2010-06-30
发明(设计)人：
韦磊
申请人：
申请人地址：
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L2167
H01L2100
代理机构：
北京凯特来知识产权代理有限公司 11260
代理人：
赵镇勇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-08-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005089132 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2008102251865 申请日:20081030 |
| 2014-04-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101699744988 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2008102251865 申请公布日:20100630 |
| 2010-06-30 | 公开 | 公开 |