一种含氟阳离子咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110226689.6
申请日
2011-08-09
公开(公告)号
CN102277577A
公开(公告)日
2011-12-14
发明(设计)人
张光华 刘国俊 李俊国 房瑜红 朱军峰
申请人
申请人地址
710021 陕西省西安市未央区大学园1号
IPC主分类号
C23F1114
IPC分类号
代理机构
西安通大专利代理有限责任公司 61200
代理人
陆万寿
法律状态
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多阳离子咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李艳艳 .
中国专利 :CN112899691A ,2021-06-04
[2]
一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李艳艳 .
中国专利 :CN112877698A ,2021-06-01
[3]
一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李双奇 ;
贺凤伟 ;
孙浩妍 .
中国专利 :CN105968052A ,2016-09-28
[4]
一种脲基双咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
葛际江 ;
李红伟 ;
张贵才 ;
毛天聪 ;
史源源 ;
张旋 .
中国专利 :CN106432085A ,2017-02-22
[5]
一种缓蚀剂中间体阳离子咪唑啉生产装置 [P]. 
廖如佴 .
中国专利 :CN107759524A ,2018-03-06
[6]
一种缓蚀剂中间体阳离子咪唑啉生产装置 [P]. 
廖如佴 .
中国专利 :CN205933705U ,2017-02-08
[7]
一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李艳艳 .
中国专利 :CN112876459B ,2021-06-01
[8]
咪唑啉耐高温缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
王世洁 ;
叶帆 ;
赵海洋 ;
姚彬 ;
李芳 ;
曾文广 ;
冯一波 ;
张江江 ;
张翼 ;
石鑫 ;
刘强 ;
高秋英 ;
吴鹏举 ;
杨耀辉 ;
杨小辉 .
中国专利 :CN110042398A ,2019-07-23
[9]
一种双阳离子苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
邓颖菁 .
中国专利 :CN112876483A ,2021-06-01
[10]
一种水溶性非离子型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李光海 ;
吕萍 ;
王宏义 ;
柳如秀 .
中国专利 :CN103320797A ,2013-09-25