一种多阳离子咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110059128.5

申请日：

2021-01-18

公开(公告)号：

CN112899691A

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

李艳艳

申请人：

申请人地址：

511400 广东省广州市番禺区大学城广工一路广东工业大学轻工化工学院

IPC主分类号：

C23F1114

IPC分类号：

C07D40314

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	公开	公开
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 11/14 申请日:20210118

共 50 条

[1]

一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法 [P].

李艳艳 .

中国专利 :CN112876459B ,2021-06-01

[2]

一种含氟阳离子咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

张光华 ;

刘国俊 ;

李俊国 ;

房瑜红 ;

朱军峰 .

中国专利 :CN102277577A ,2011-12-14

[3]

一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李艳艳 .

中国专利 :CN112877698A ,2021-06-01

[4]

一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李双奇 ;

贺凤伟 ;

孙浩妍 .

中国专利 :CN105968052A ,2016-09-28

[5]

一种缓蚀剂中间体阳离子咪唑啉生产装置 [P].

廖如佴 .

中国专利 :CN107759524A ,2018-03-06

[6]

一种缓蚀剂中间体阳离子咪唑啉生产装置 [P].

廖如佴 .

中国专利 :CN205933705U ,2017-02-08

[7]

一种双阳离子苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法 [P].

邓颖菁 .

中国专利 :CN112876483A ,2021-06-01

[8]

一种水溶性非离子型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P].

李光海 ;

吕萍 ;

王宏义 ;

柳如秀 .

中国专利 :CN103320797A ,2013-09-25

[9]

一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P].

连贵宾 ;

赵波 ;

孙新春 ;

何志刚 ;

吴君 ;

卜魁勇 ;

张文辉 ;

刘冬梅 ;

程春雷 .

中国专利 :CN102964306A ,2013-03-13

[10]

一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P].

郑性能 ;

张建妮 .

中国专利 :CN106884171A ,2017-06-23

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