溅射涂覆装置和涂覆方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880115159.0

申请日：

2008-07-04

公开(公告)号：

CN101878514B

公开(公告)日：

2010-11-03

发明(设计)人：

克里斯托弗·蒙洛安德里亚斯·鲁普安德里亚斯·克鲁佩尔杜比亚斯·斯托利拉尔夫·林德伯格马库斯·班德尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3734

IPC分类号：

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258

代理人：

赵飞;南霆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	授权	授权
2010-11-03	公开	公开
2016-08-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101675767291 IPC(主分类):H01J 37/34 专利号:ZL2008801151590 申请日:20080704 授权公告日:20120704 终止日期:20150704
2010-12-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101025283506 IPC(主分类):H01J 37/34 专利申请号:2008801151590 申请日:20080704

共 50 条

[1]

溅射涂覆装置 [P].

安德里亚斯·鲁普 ;

拉尔夫·林德伯格 .

中国专利 :CN101503793A ,2009-08-12

[2]

涂覆装置和涂覆方法 [P].

西野刚 ;

小野川彻 .

中国专利 :CN1442237A ,2003-09-17

[3]

涂覆方法和涂覆装置 [P].

井上博之 ;

长井启史 ;

高岛直弘 .

中国专利 :CN101511492B ,2009-08-19

[4]

涂覆装置和涂覆方法 [P].

约翰内斯·施密德 .

中国专利 :CN109571667B ,2019-04-05

[5]

涂覆装置和涂覆方法 [P].

宫川大亮 ;

松本泰直 ;

岛田隆治 .

中国专利 :CN106253017A ,2016-12-21

[6]

涂覆装置和涂覆方法 [P].

李云平 ;

刘晓宏 ;

尚蓉蓉 ;

王健翔 .

中国专利 :CN117718183A ,2024-03-19

[7]

涂覆装置和涂覆方法 [P].

赵顺天 ;

申奉圭 ;

金炫中 .

中国专利 :CN108654869B ,2018-10-16

[8]

涂覆装置和涂覆方法 [P].

市川和纪 ;

金子修芳 ;

西野刚 .

中国专利 :CN1287911C ,2003-04-09

[9]

涂覆间和涂覆方法 [P].

沼里亮 ;

谷真二 ;

田中一基 ;

木村拓史 .

中国专利 :CN112604891A ,2021-04-06

[10]

涂覆系统和涂覆方法 [P].

伊凯·格克·德弗里斯 ;

桑迪普·乌尼克里希南 ;

威廉默斯·胡贝图斯·曼德斯 ;

耶伦·安东尼乌斯·施梅尔廷克 ;

莱昂纳德斯·玛丽亚·图宁 .

中国专利 :CN107107101A ,2017-08-29

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