溅射涂覆装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910126776.7

申请日：

2009-01-15

公开(公告)号：

CN101503793A

公开(公告)日：

2009-08-12

发明(设计)人：

安德里亚斯·鲁普拉尔夫·林德伯格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1435 C23C1456

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

赵飞;南霆

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101495802320 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2009101267767 申请公布日:20090812
2009-10-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-08-12	公开	公开

共 50 条

[1]

溅射涂覆装置和涂覆方法 [P].

克里斯托弗·蒙洛 ;

安德里亚斯·鲁普 ;

安德里亚斯·克鲁佩尔 ;

杜比亚斯·斯托利 ;

拉尔夫·林德伯格 ;

马库斯·班德尔 .

中国专利 :CN101878514B ,2010-11-03

[2]

用于基板涂覆的溅射装置 [P].

A·许布纳 ;

A·N·潘考 ;

B·P·廷卡姆 .

中国专利 :CN105986231A ,2016-10-05

[3]

涂覆装置 [P].

朴宰彻 ;

李忠爀 ;

宋大镐 ;

崔洛初 ;

鱼庆恩 ;

吴旻贞 ;

李民雨 ;

裵相钧 .

中国专利 :CN104043566A ,2014-09-17

[4]

在衬底上沉积层的溅射涂覆装置以及方法 [P].

詹姆士·斯科汉默 ;

乌韦·霍夫曼 ;

卓斯·曼纽尔·迪格茨－加波 .

中国专利 :CN101368261A ,2009-02-18

[5]

涂覆液涂覆装置 [P].

冈本启一 ;

西乡公史 ;

萩一真 .

中国专利 :CN209452163U ,2019-10-01

[6]

胶体涂覆装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN217342123U ,2022-09-02

[7]

涂覆头、涂覆组件以及涂覆装置 [P].

曹道聪 ;

肖昌芳 ;

刘克光 ;

潘宇 ;

佘沈 ;

宋华申 .

中国专利 :CN223113419U ,2025-07-18

[8]

涂覆系统和涂覆方法 [P].

伊凯·格克·德弗里斯 ;

桑迪普·乌尼克里希南 ;

威廉默斯·胡贝图斯·曼德斯 ;

耶伦·安东尼乌斯·施梅尔廷克 ;

莱昂纳德斯·玛丽亚·图宁 .

中国专利 :CN107107101A ,2017-08-29

[9]

涂覆装置和涂覆方法 [P].

西野刚 ;

小野川彻 .

中国专利 :CN1442237A ,2003-09-17

[10]

涂覆剂装置和涂覆装置 [P].

F·赫勒 ;

J·黑林 ;

R·梅尔歇尔 ;

T·布克 ;

M·鲍曼 ;

B·塞茨 ;

M·米歇尔菲尔德 .

中国专利 :CN107084263A ,2017-08-22

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