在衬底上沉积层的溅射涂覆装置以及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810133593.3

申请日：

2008-07-17

公开(公告)号：

CN101368261A

公开(公告)日：

2009-02-18

发明(设计)人：

詹姆士·斯科汉默乌韦·霍夫曼卓斯·曼纽尔·迪格茨－加波

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

赵飞

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-04-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101079710747 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2008101335933 公开日:20090218
2009-02-18	公开	公开
2009-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

用于在塑料衬底上沉积阻挡层的方法以及其涂覆装置和层系统 [P].

格尔德·霍夫曼 ;

亚历山德拉·L·奎斯诺 .

中国专利 :CN102165089A ,2011-08-24

[2]

溅射涂覆装置 [P].

安德里亚斯·鲁普 ;

拉尔夫·林德伯格 .

中国专利 :CN101503793A ,2009-08-12

[3]

用于在衬底上沉积材料层的方法以及相应形成的结构 [P].

J·安图内斯阿方索 ;

S·瓦拉斯 ;

P·查特拉因 ;

K·A·帕特尔 ;

F·达沃迪 .

:CN118610077A ,2024-09-06

[4]

在整料衬底上形成涂层的涂覆装置和方法 [P].

J·E·克林顿 ;

C·R·费克特 ;

顾云峰 .

中国专利 :CN104066519B ,2014-09-24

[5]

溅射涂覆装置和涂覆方法 [P].

克里斯托弗·蒙洛 ;

安德里亚斯·鲁普 ;

安德里亚斯·克鲁佩尔 ;

杜比亚斯·斯托利 ;

拉尔夫·林德伯格 ;

马库斯·班德尔 .

中国专利 :CN101878514B ,2010-11-03

[6]

在衬底上形成焊料沉积的方法 [P].

S.兰普雷希特 ;

K-J.马特雅特 ;

I.埃沃特 ;

S.肯尼 .

中国专利 :CN103026475A ,2013-04-03

[7]

真空层沉积设备和在基材上，尤其在待涂覆表面中包含凹痕的基材上沉积层的方法 [P].

J·维查尔特 .

:CN118715336A ,2024-09-27

[8]

在衬底上形成焊料合金沉积的方法 [P].

K-J.马特雅特 ;

S.兰普雷希特 ;

I.埃沃特 .

中国专利 :CN103026476A ,2013-04-03

[9]

用于沉积功能层的等离子涂覆方法和沉积装置 [P].

米夏埃尔·比斯格斯 ;

诺贝特·埃卡特 ;

克里斯蒂安·蒂勒 .

中国专利 :CN106232865B ,2016-12-14

[10]

涂覆装置以及涂覆方法 [P].

塩田明仁 ;

铃木启悟 .

中国专利 :CN108525941A ,2018-09-14

← 1 2 3 4 5 →