共 50 条
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用于在衬底上沉积材料层的方法以及相应形成的结构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410232842.3
申请日：
2024-03-01
公开(公告)号：
CN118610077A
公开(公告)日：
2024-09-06
发明(设计)人：
J·安图内斯阿方索
S·瓦拉斯
P·查特拉因
K·A·帕特尔
F·达沃迪
申请人：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
H01L21/033
IPC分类号：
G03F7/004
G03F7/20
C23C16/455
C23C16/50
C23C16/52
H01L21/67
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
焦玉恒
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-06 | 公开 | 公开 |