用于基板涂覆的溅射装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510612189.4

申请日：

2015-09-23

公开(公告)号：

CN105986231A

公开(公告)日：

2016-10-05

发明(设计)人：

A·许布纳 A·N·潘考 B·P·廷卡姆

申请人：

申请人地址：

德国克塞尔斯多夫

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1400

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

王小东

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-05	公开	公开
2019-05-03	授权	授权
2018-04-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20150923

共 50 条

[1]

溅射涂覆装置 [P].

安德里亚斯·鲁普 ;

拉尔夫·林德伯格 .

中国专利 :CN101503793A ,2009-08-12

[2]

用于生产涂覆的基板的方法 [P].

J·皮斯特纳 ;

H·哈格多恩 .

中国专利 :CN107532290B ,2018-01-02

[3]

用于涂覆产品的装置 [P].

J·-L·H·格雷特 .

中国专利 :CN100506396C ,2003-11-12

[4]

用于溅射碳靶的溅射工艺 [P].

乌尔夫·赫尔默松 ;

尼尔斯·布伦宁 ;

阿西姆·艾亚兹 .

中国专利 :CN103534380A ,2014-01-22

[5]

用于涂覆的组合物、涂覆工艺和冷冻涂覆的糖食 [P].

L·威克斯 .

中国专利 :CN101356946A ,2009-02-04

[6]

用于处理腔室的涂覆材料 [P].

元泰景 ;

崔寿永 ;

崔金贤 ;

崔毅 ;

古田学 .

中国专利 :CN110846636A ,2020-02-28

[7]

用于浸渍涂覆胶囊半分体的涂覆剂 [P].

B·斯卡尔斯基 ;

M·阿斯穆斯 ;

O·汉瑟尔 ;

H-U·彼得莱特 .

中国专利 :CN102448446A ,2012-05-09

[8]

用于涂覆基底的方法 [P].

托马斯·莫尔登豪尔 ;

扎比内·路德 ;

托马斯·佩尔科维奇 ;

海科·艾默尔 .

中国专利 :CN106029360A ,2016-10-12

[9]

用于涂覆药物基质的方法 [P].

佩卡·霍普 ;

托米·卡瑞尼恩 ;

玛丽亚-莱纳·卡瑞尼恩 ;

艾莫·特鲁尼恩 .

中国专利 :CN104837484A ,2015-08-12

[10]

用于涂覆种子的制剂集 [P].

T·克雷西茨 ;

M·克雷西茨 .

德国专利 :CN118678882A ,2024-09-20

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