一种四坩埚蒸发源

被引：0

申请号：

CN202123109582.1

申请日：

2021-12-13

公开(公告)号：

CN216639707U

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

刘玉翔肖文德乔璐李骥张旭彭祥麟肖佩瑶韩俊峰姚裕贵

申请人：

申请人地址：

100081 北京市海淀区中关村南大街5号

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

C30B2514

代理机构：

北京理工大学专利中心 11120

代理人：

杨潇;仇蕾安

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种双坩埚蒸发源 [P].

肖文德 ;

乔璐 ;

李骥 ;

彭祥麟 ;

姚裕贵 .

中国专利 :CN113388884A ,2021-09-14

[2]

一种线性蒸发源坩埚 [P].

何文双 ;

罗武峰 ;

吴炜钦 ;

蔡晓义 .

中国专利 :CN215593171U ,2022-01-21

[3]

一种用于蒸发源的坩埚 [P].

于钦芳 ;

罗万里 .

中国专利 :CN223118532U ,2025-07-18

[4]

一种用于点蒸发源的坩埚 [P].

张麒麟 ;

卢玄龙 .

中国专利 :CN212270218U ,2021-01-01

[5]

一种蒸发源坩埚高度调节装置 [P].

闻益 .

中国专利 :CN221440844U ,2024-07-30

[6]

一种坩埚和蒸镀用蒸发源 [P].

李发顺 ;

贾晓晨 ;

雷东 .

中国专利 :CN208183062U ,2018-12-04

[7]

一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备 [P].

魏鑫峰 .

中国专利 :CN215856296U ,2022-02-18

[8]

一种精密AMOLED蒸发源坩埚烤箱设备 [P].

张庆明 .

中国专利 :CN216011676U ,2022-03-11

[9]

一种坩埚、蒸发源及蒸镀装置 [P].

张艳龙 .

中国专利 :CN215251124U ,2021-12-21

[10]

坩埚、蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵德江 ;

袁广才 .

中国专利 :CN206916210U ,2018-01-23

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