一种双坩埚蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110678544.3

申请日：

2021-06-18

公开(公告)号：

CN113388884A

公开(公告)日：

2021-09-14

发明(设计)人：

肖文德乔璐李骥彭祥麟姚裕贵

申请人：

申请人地址：

100081 北京市海淀区中关村南大街5号

IPC主分类号：

C30B2306

IPC分类号：

C23C1426 C23C1430

代理机构：

北京理工大学专利中心 11120

代理人：

杨常建

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-14	公开	公开
2021-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 23/06 申请日:20210618

共 50 条

[1]

一种四坩埚蒸发源 [P].

刘玉翔 ;

肖文德 ;

乔璐 ;

李骥 ;

张旭 ;

彭祥麟 ;

肖佩瑶 ;

韩俊峰 ;

姚裕贵 .

中国专利 :CN216639707U ,2022-05-31

[2]

一种双电子枪蒸发源 [P].

乔宪武 .

中国专利 :CN205473959U ,2016-08-17

[3]

阿力甫·库提鲁克 ;

梅新灵 ;

栾佳杰 ;

陈亚男 ;

洪巍 ;

方农华 .

中国专利 :CN116180020B ,2025-08-19

[4]

一种双坩埚 [P].

涂准 ;

陈立军 ;

赵鹏 ;

张亮桢 ;

刘文斌 ;

黄建忠 .

中国专利 :CN111442646A ,2020-07-24

[5]

一种电子束蒸发源的加热装置 [P].

胡善玮 .

中国专利 :CN217459570U ,2022-09-20

[6]

一种近距离双电子束蒸发源结构 [P].

杜宝胜 ;

薛蒙晓 ;

张银丹 .

中国专利 :CN118957505A ,2024-11-15

[7]

基于电子束蒸发的双钨坩埚结构 [P].

周国山 ;

薛元 ;

夏佑科 ;

张国栋 .

中国专利 :CN105586571B ,2016-05-18

[8]

基于电子束蒸发的双钨坩埚结构 [P].

周国山 ;

薛元 ;

夏佑科 ;

张国栋 .

中国专利 :CN205398717U ,2016-07-27

[9]

一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 [P].

徐永兵 ;

何亮 ;

刘文卿 ;

赖柏霖 .

中国专利 :CN106676480A ,2017-05-17

[10]

一种蒸发速率可控的电子束蒸发源 [P].

徐永兵 ;

何亮 ;

刘文卿 ;

赖柏霖 .

中国专利 :CN206692720U ,2017-12-01

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