蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310147081.7

申请日：

2023-02-22

公开(公告)号：

CN116180020B

公开(公告)日：

2025-08-19

发明(设计)人：

阿力甫·库提鲁克梅新灵栾佳杰陈亚男洪巍方农华

申请人：

费勉仪器科技（上海）有限公司

申请人地址：

201900 上海市宝山区顾村工业园区富联二路558号1-10幢

IPC主分类号：

C23C14/30

IPC分类号：

代理机构：

南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) 32368

代理人：

邱欢欢

法律状态：

授权

国省代码：

黑龙江省哈尔滨市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	授权	授权

共 50 条

[1]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921B ,2025-11-18

[2]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17

[3]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113005408A ,2021-06-22

[4]

沉积蒸发源 [P].

雷智 ;

邹志杰 .

中国专利 :CN102212784A ,2011-10-12

[5]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN211522301U ,2020-09-18

[6]

蒸发源装置 [P].

福田辰男 .

中国专利 :CN100587105C ,2007-11-28

[7]

沉积蒸发源 [P].

雷智 ;

邹志杰 .

中国专利 :CN102214730A ,2011-10-12

[8]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113005408B ,2025-06-17

[9]

蒸发源及具有该蒸发源的蒸镀设备 [P].

张峰杰 .

中国专利 :CN205501406U ,2016-08-24

[10]

线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置 [P].

安秉九 ;

吴镇浩 ;

尹昌宣 ;

车敏徹 ;

姜有珍 .

中国专利 :CN107686967A ,2018-02-13

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