蒸发源装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580043015.5

申请日：

2005-10-20

公开(公告)号：

CN100587105C

公开(公告)日：

2007-11-28

发明(设计)人：

福田辰男

申请人：

申请人地址：

日本千叶县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101550522016 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2005800430155 申请日:20051020 授权公告日:20100203 终止日期:20121020
2007-11-28	公开	公开
2010-02-03	授权	授权
2008-01-23	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

阿力甫·库提鲁克 ;

梅新灵 ;

栾佳杰 ;

陈亚男 ;

洪巍 ;

方农华 .

中国专利 :CN116180020B ,2025-08-19

[2]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921B ,2025-11-18

[3]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17

[4]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113005408A ,2021-06-22

[5]

线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置 [P].

安秉九 ;

吴镇浩 ;

尹昌宣 ;

车敏徹 ;

姜有珍 .

中国专利 :CN107686967A ,2018-02-13

[6]

沉积蒸发源 [P].

雷智 ;

邹志杰 .

中国专利 :CN102212784A ,2011-10-12

[7]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN211522301U ,2020-09-18

[8]

沉积蒸发源 [P].

雷智 ;

邹志杰 .

中国专利 :CN102214730A ,2011-10-12

[9]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113005408B ,2025-06-17

[10]

高频感应蒸发源装置 [P].

沐俊应 .

中国专利 :CN106835029A ,2017-06-13

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