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蒸发源喷嘴

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911325298.2
申请日：
2019-12-20
公开(公告)号：
CN113005408B
公开(公告)日：
2025-06-17
发明(设计)人：
轩景泉 钱海涛 林文晶 马晓宇
申请人：
上海升翕光电科技有限公司
申请人地址：
200540 上海市金山区夏宁路666弄62号
IPC主分类号：
C23C14/24
IPC分类号：
C23C14/12
代理机构：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444
代理人：
冯伟
法律状态：
授权
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-17 授权 授权
共 50 条
[1]
蒸发源喷嘴 [P]. 
轩景泉 ;
钱海涛 ;
林文晶 ;
马晓宇 .
中国专利 :CN113005408A ,2021-06-22
[2]
蒸发源喷嘴 [P]. 
轩景泉 ;
钱海涛 ;
林文晶 ;
马晓宇 .
中国专利 :CN211522301U ,2020-09-18
[3]
一种蒸发源喷嘴 [P]. 
李剑飞 ;
刘华林 ;
郝文涛 ;
王超 .
中国专利 :CN222770940U ,2025-04-18
[4]
蒸发源、蒸发源系统 [P]. 
胡海兵 .
中国专利 :CN111378933A ,2020-07-07
[5]
蒸发源 [P]. 
张鑫狄 ;
崔伟 ;
付文悦 ;
张峰杰 ;
孙俊民 .
中国专利 :CN206219654U ,2017-06-06
[6]
蒸发源 [P]. 
阿力甫·库提鲁克 ;
梅新灵 ;
栾佳杰 ;
陈亚男 ;
洪巍 ;
方农华 .
中国专利 :CN116180020B ,2025-08-19
[7]
蒸发源 [P]. 
张鑫狄 ;
崔伟 ;
付文悦 ;
张峰杰 ;
孙俊民 .
中国专利 :CN106399947A ,2017-02-15
[8]
高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P]. 
杨一新 .
中国专利 :CN120796921B ,2025-11-18
[9]
高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P]. 
杨一新 .
中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17
[10]
沉积蒸发源 [P]. 
雷智 ;
邹志杰 .
中国专利 :CN102212784A ,2011-10-12
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