高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511276894.1

申请日：

2025-09-09

公开(公告)号：

CN120796921B

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

杨一新

申请人：

季华实验室

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

C23C14/26

IPC分类号：

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

潘永钊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	授权	授权
2025-10-17	公开	公开
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/26申请日:20250909

共 50 条

[1]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17

[2]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[3]

一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

张金中 .

中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10

[4]

蒸发源及具有该蒸发源的蒸镀设备 [P].

张峰杰 .

中国专利 :CN205501406U ,2016-08-24

[5]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

郑子明 .

中国专利 :CN113373412A ,2021-09-10

[6]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

菅原由季 .

日本专利 :CN110656309B ,2024-03-15

[7]

线性蒸发源、蒸镀装置及方法 [P].

马凯葓 ;

上官荣刚 .

中国专利 :CN105695939A ,2016-06-22

[8]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

阿力甫·库提鲁克 ;

梅新灵 ;

陈亚男 ;

洪巍 ;

方农华 .

中国专利 :CN114481039A ,2022-05-13

[9]

线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置 [P].

安秉九 ;

吴镇浩 ;

尹昌宣 ;

车敏徹 ;

姜有珍 .

中国专利 :CN107686967A ,2018-02-13

[10]

阿力甫·库提鲁克 ;

梅新灵 ;

栾佳杰 ;

陈亚男 ;

洪巍 ;

方农华 .

中国专利 :CN116180020B ,2025-08-19

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