线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810551056.4

申请日：

2018-05-31

公开(公告)号：

CN108754448A

公开(公告)日：

2018-11-06

发明(设计)人：

王卫卫李俊峰何麟

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

唐清凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20180531
2021-11-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/54 申请公布日:20181106
2018-11-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

张金中 .

中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10

[2]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921B ,2025-11-18

[3]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17

[4]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[5]

蒸发源及蒸镀系统 [P].

胡长奇 ;

苏志玮 .

中国专利 :CN107400858A ,2017-11-28

[6]

一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备 [P].

裴凤巍 ;

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN208328091U ,2019-01-04

[7]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN207525325U ,2018-06-22

[8]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

菅原由季 .

日本专利 :CN110656309B ,2024-03-15

[9]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

姜亮 .

中国专利 :CN104060227A ,2014-09-24

[10]

蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置 [P].

林圣来 .

中国专利 :CN102031485A ,2011-04-27

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