蒸发源及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410322941.7

申请日：

2014-07-08

公开(公告)号：

CN104060227A

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

姜亮

申请人：

申请人地址：

201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

聂慧荃;郑特强

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101750810476 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2014103229417 申请公布日:20140924
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587748443 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2014103229417 申请日:20140708
2014-09-24	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

峰川英明 ;

松浦宏育 ;

矢崎秋夫 ;

福田浩 ;

三宅龙也 .

中国专利 :CN102676999A ,2012-09-19

[2]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[3]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[4]

蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

菅原由季 .

中国专利 :CN110541146A ,2019-12-06

[5]

蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘全宝 ;

毋炳辉 ;

金跃康 ;

王传俊 ;

高松 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN115011931A ,2022-09-06

[6]

蒸发源装置及蒸镀机 [P].

沐俊应 .

中国专利 :CN107299321A ,2017-10-27

[7]

蒸发源及蒸镀系统 [P].

胡长奇 ;

苏志玮 .

中国专利 :CN107400858A ,2017-11-28

[8]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

肖昂 ;

饶勇 ;

罗垒垒 ;

兰代江 ;

刘飞 ;

加新星 .

中国专利 :CN110144550B ,2019-08-20

[9]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN207525325U ,2018-06-22

[10]

蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置 [P].

林圣来 .

中国专利 :CN102031485A ,2011-04-27

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