蒸发源及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210058800.X

申请日：

2012-03-08

公开(公告)号：

CN102676999A

公开(公告)日：

2012-09-19

发明(设计)人：

峰川英明松浦宏育矢崎秋夫福田浩三宅龙也

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

H05B3310

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

黄永杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-19	公开	公开
2014-12-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101708899516 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:201210058800X 申请公布日:20120919
2012-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101346522773 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:201210058800X 申请日:20120308

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

姜亮 .

中国专利 :CN104060227A ,2014-09-24

[2]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[3]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[4]

蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

菅原由季 .

中国专利 :CN110541146A ,2019-12-06

[5]

蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘全宝 ;

毋炳辉 ;

金跃康 ;

王传俊 ;

高松 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN115011931A ,2022-09-06

[6]

蒸发源装置及蒸镀机 [P].

沐俊应 .

中国专利 :CN107299321A ,2017-10-27

[7]

蒸发源及蒸镀系统 [P].

胡长奇 ;

苏志玮 .

中国专利 :CN107400858A ,2017-11-28

[8]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

肖昂 ;

饶勇 ;

罗垒垒 ;

兰代江 ;

刘飞 ;

加新星 .

中国专利 :CN110144550B ,2019-08-20

[9]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN207525325U ,2018-06-22

[10]

蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置 [P].

林圣来 .

中国专利 :CN102031485A ,2011-04-27

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