蒸发源及蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910528411.0

申请日：

2019-06-18

公开(公告)号：

CN110144550B

公开(公告)日：

2019-08-20

发明(设计)人：

肖昂饶勇罗垒垒兰代江刘飞加新星

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

黄灿;曹娜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-20	公开	公开
2019-09-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20190618
2021-09-21	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN207525325U ,2018-06-22

[2]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[3]

蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘全宝 ;

毋炳辉 ;

金跃康 ;

王传俊 ;

高松 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN115011931A ,2022-09-06

[4]

坩埚、蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵德江 ;

袁广才 .

中国专利 :CN206916210U ,2018-01-23

[5]

坩埚、蒸发源及蒸镀设备 [P].

王选生 ;

贾俊兰 .

中国专利 :CN110195210B ,2019-09-03

[6]

蒸发源、蒸镀设备及蒸镀控制方法 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN107805783A ,2018-03-16

[7]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

姜亮 .

中国专利 :CN104060227A ,2014-09-24

[8]

蒸发源及蒸镀系统 [P].

胡长奇 ;

苏志玮 .

中国专利 :CN107400858A ,2017-11-28

[9]

蒸发源及蒸镀装置 [P].

峰川英明 ;

松浦宏育 ;

矢崎秋夫 ;

福田浩 ;

三宅龙也 .

中国专利 :CN102676999A ,2012-09-19

[10]

一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备 [P].

裴凤巍 ;

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN208328091U ,2019-01-04

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