线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710660922.9

申请日：

2017-08-04

公开(公告)号：

CN107686967A

公开(公告)日：

2018-02-13

发明(设计)人：

安秉九吴镇浩尹昌宣车敏徹姜有珍

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C22C2704 C22C3200

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

王达佐;刘铮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	授权	授权
2019-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170804
2018-02-13	公开	公开

共 50 条

[1]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921B ,2025-11-18

[2]

高温线型蒸发源、长线性蒸发源及共蒸镀蒸发源 [P].

杨一新 .

中国专利 :CN120796921A ,2025-10-17

[3]

沉积蒸发源 [P].

雷智 ;

邹志杰 .

中国专利 :CN102212784A ,2011-10-12

[4]

沉积蒸发源 [P].

雷智 ;

邹志杰 .

中国专利 :CN102214730A ,2011-10-12

[5]

蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置 [P].

李博研 ;

韩钰 ;

林舒平 ;

刘晓宇 ;

钟大龙 ;

赵明 .

中国专利 :CN118621268A ,2024-09-10

[6]

线性蒸发源以及蒸发镀膜机 [P].

牛二辉 ;

邹福志 ;

林循恩 ;

孙永杰 .

中国专利 :CN222455183U ,2025-02-11

[7]

线性蒸发源、蒸镀装置及方法 [P].

马凯葓 ;

上官荣刚 .

中国专利 :CN105695939A ,2016-06-22

[8]

蒸发源、用于操作蒸发源的方法和沉积系统 [P].

斯蒂芬·班格特 .

中国专利 :CN112074623A ,2020-12-11

[9]

阿力甫·库提鲁克 ;

梅新灵 ;

栾佳杰 ;

陈亚男 ;

洪巍 ;

方农华 .

中国专利 :CN116180020B ,2025-08-19

[10]

轩景泉 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113122810A ,2021-07-16

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