蒸发源、用于操作蒸发源的方法和沉积系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880093155.0

申请日：

2018-05-22

公开(公告)号：

CN112074623A

公开(公告)日：

2020-12-11

发明(设计)人：

斯蒂芬·班格特

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1412

IPC分类号：

C23C1424 C23C1456

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/12 申请日:20180522
2020-12-11	公开	公开

共 50 条

[1]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[2]

自动替换坩锅的蒸发源及具有该蒸发源的蒸发沉积系统 [P].

金英年 .

中国专利 :CN112823219A ,2021-05-18

[3]

线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置 [P].

安秉九 ;

吴镇浩 ;

尹昌宣 ;

车敏徹 ;

姜有珍 .

中国专利 :CN107686967A ,2018-02-13

[4]

轩景泉 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113122810A ,2021-07-16

[5]

蒸发源、包括其的沉积系统及利用其的蒸发源更换方法 [P].

金首宦 ;

姜显旭 ;

崔明云 .

韩国专利 :CN120719254A ,2025-09-30

[6]

轩景泉 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN211872077U ,2020-11-06

[7]

蒸发源和采用该蒸发源的蒸镀装置 [P].

金度根 ;

许明洙 ;

郑锡宪 ;

康熙哲 ;

古野和雄 .

中国专利 :CN1814854A ,2006-08-09

[8]

用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN105917019A ,2016-08-31

[9]

蒸发源装置 [P].

杨红领 ;

龚智豪 ;

李潍萌 .

中国专利 :CN104294217A ,2015-01-21

[10]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051562A ,2020-04-21

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