蒸发源和采用该蒸发源的蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510092373.7

申请日：

2005-08-29

公开(公告)号：

CN1814854A

公开(公告)日：

2006-08-09

发明(设计)人：

金度根许明洙郑锡宪康熙哲古野和雄

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李贵亮;杨梧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-12-09	授权	授权
2006-08-09	公开	公开
2006-10-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-02-04	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)	专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移) 变更事项:申请人变更前权利人:三星SDI株式会社变更后权利人:三星移动显示器株式会社变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20090109
2012-11-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101474546619 IPC(主分类):C23C 14/26 专利号:ZL2005100923737 变更事项:专利权人变更前权利人:三星移动显示器株式会社变更后权利人:三星显示有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20121029

共 22 条

[1]

蒸发源和蒸镀装置 [P].

风间良秋 ;

佐藤聪 .

中国专利 :CN109972094B ,2019-07-05

[2]

轩景泉 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113122810A ,2021-07-16

[3]

轩景泉 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN211872077U ,2020-11-06

[4]

蒸发源、用于操作蒸发源的方法和沉积系统 [P].

斯蒂芬·班格特 .

中国专利 :CN112074623A ,2020-12-11

[5]

线性蒸发源及连续式蒸镀设备 [P].

杨世航 ;

刘壮 ;

张撷秋 ;

崔骏 ;

李霖 .

中国专利 :CN108048801A ,2018-05-18

[6]

线性蒸发源及连续式蒸镀设备 [P].

杨世航 ;

刘壮 ;

张撷秋 ;

崔骏 ;

李霖 .

中国专利 :CN207727135U ,2018-08-14

[7]

线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置 [P].

安秉九 ;

吴镇浩 ;

尹昌宣 ;

车敏徹 ;

姜有珍 .

中国专利 :CN107686967A ,2018-02-13

[8]

一种线性蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

郑子明 ;

赵军 ;

吕海超 ;

彭勃 .

中国专利 :CN107815648A ,2018-03-20

[9]

真空蒸发源 [P].

黃道元 .

中国专利 :CN111051562A ,2020-04-21

[10]

一种OLED蒸镀机点蒸发源坩埚组件 [P].

王治学 ;

杨木森 ;

李星 .

中国专利 :CN221701621U ,2024-09-13