一种线性蒸发源装置及蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710883034.3

申请日：

2017-09-26

公开(公告)号：

CN107815648A

公开(公告)日：

2018-03-20

发明(设计)人：

郑子明赵军吕海超彭勃

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区金山工业区夏宁路666弄61号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210

代理人：

南小平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-05	授权	授权
2018-03-20	公开	公开
2018-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20170926

共 50 条

[1]

线性蒸发源及连续式蒸镀设备 [P].

杨世航 ;

刘壮 ;

张撷秋 ;

崔骏 ;

李霖 .

中国专利 :CN108048801A ,2018-05-18

[2]

线性蒸发源及连续式蒸镀设备 [P].

杨世航 ;

刘壮 ;

张撷秋 ;

崔骏 ;

李霖 .

中国专利 :CN207727135U ,2018-08-14

[3]

一种线性蒸发源以及蒸镀设备 [P].

苏志玮 ;

王演隆 .

中国专利 :CN203546136U ,2014-04-16

[4]

蒸发源装置以及蒸镀设备 [P].

张欢欢 ;

秦双亮 ;

林超 ;

李玉武 .

中国专利 :CN112376018A ,2021-02-19

[5]

蒸发源装置及蒸镀机 [P].

沐俊应 .

中国专利 :CN107299321A ,2017-10-27

[6]

一种蒸发源蒸镀装置 [P].

孙玉俊 ;

吴晟远 ;

郑国清 .

中国专利 :CN222205393U ,2024-12-20

[7]

蒸发源和蒸镀装置 [P].

风间良秋 ;

佐藤聪 .

中国专利 :CN109972094B ,2019-07-05

[8]

蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机 [P].

叶岚凯 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN104109834B ,2014-10-22

[9]

一种蒸发源以及蒸镀装置 [P].

胡长奇 ;

王梦帝 .

中国专利 :CN108004512A ,2018-05-08

[10]

一种蒸发源以及蒸镀装置 [P].

胡长奇 ;

王梦帝 .

中国专利 :CN207775340U ,2018-08-28

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