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一种蒸发源以及蒸镀装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810045487.3
申请日：
2018-01-17
公开(公告)号：
CN108004512A
公开(公告)日：
2018-05-08
发明(设计)人：
胡长奇 王梦帝
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1426
IPC分类号：
代理机构：
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291
代理人：
郭润湘
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-06-01 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20180117
2018-05-08 公开 公开
共 50 条
[1]
一种蒸发源以及蒸镀装置 [P]. 
胡长奇 ;
王梦帝 .
中国专利 :CN207775340U ,2018-08-28
[2]
一种平面式蒸发源以及蒸镀装置 [P]. 
姚固 ;
王玉 ;
曾苏伟 .
中国专利 :CN107267922B ,2017-10-20
[3]
一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P]. 
张金中 .
中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10
[4]
一种线性蒸发源装置及蒸镀装置 [P]. 
李兆晟 ;
金薰 ;
丁熙荣 ;
金甲锡 .
中国专利 :CN109943806A ,2019-06-28
[5]
蒸发源及真空蒸镀系统 [P]. 
邹清华 ;
黄俊淞 .
中国专利 :CN110777334B ,2020-02-11
[6]
一种线性蒸发源装置及蒸镀设备 [P]. 
郑子明 ;
赵军 ;
吕海超 ;
彭勃 .
中国专利 :CN107815648A ,2018-03-20
[7]
蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备 [P]. 
李浩永 ;
金甲锡 ;
金薰 .
中国专利 :CN107365960B ,2017-11-21
[8]
一种线性蒸发源系统及蒸镀装置 [P]. 
胡海兵 .
中国专利 :CN206666631U ,2017-11-24
[9]
一种线性蒸发源及蒸镀设备 [P]. 
申永奇 .
中国专利 :CN209024634U ,2019-06-25
[10]
OLED蒸镀机的蒸发源组件 [P]. 
邹清华 .
中国专利 :CN103741096B ,2014-04-23
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