蒸发源检测系统以及检测方法、蒸镀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610326878.3

申请日：

2016-05-13

公开(公告)号：

CN107365960B

公开(公告)日：

2017-11-21

发明(设计)人：

李浩永金甲锡金薰

申请人：

申请人地址：

230013 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-30	授权	授权
2017-12-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20160513
2017-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

肖昂 ;

饶勇 ;

罗垒垒 ;

兰代江 ;

刘飞 ;

加新星 .

中国专利 :CN110144550B ,2019-08-20

[2]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[3]

蒸发源、蒸镀设备及蒸镀控制方法 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN107805783A ,2018-03-16

[4]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

邹清华 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN110777334B ,2020-02-11

[5]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN207525325U ,2018-06-22

[6]

蒸发源及蒸镀系统 [P].

胡长奇 ;

苏志玮 .

中国专利 :CN107400858A ,2017-11-28

[7]

蒸发源喷嘴、蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘华猛 ;

文官印 ;

李彦松 ;

王蓓 ;

王宇钊 .

中国专利 :CN118256879A ,2024-06-28

[8]

一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备 [P].

裴凤巍 ;

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN208328091U ,2019-01-04

[9]

一种蒸发源以及蒸镀设备 [P].

吕磊 ;

滨田 ;

阎洪刚 ;

雷志宏 .

中国专利 :CN206902224U ,2018-01-19

[10]

一种蒸发源设备及其蒸镀方法、蒸镀系统 [P].

易平安 ;

徐天宇 ;

肖昂 ;

刘洋 ;

贾克飞 ;

付佳佳 ;

郭雄飞 ;

黄秦霏 ;

朱伍权 ;

沈萌 ;

赵希瑾 ;

刘祥 ;

刘坤龙 ;

王亚杰 ;

石恺 ;

刘雨 ;

王聪建 ;

赵浪 ;

薛洋洋 ;

谢伟 ;

解冰 .

中国专利 :CN113265621A ,2021-08-17

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