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蒸发源及真空蒸镀系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911198154.5
申请日：
2019-11-29
公开(公告)号：
CN110777334B
公开(公告)日：
2020-02-11
发明(设计)人：
邹清华
黄俊淞
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1426
IPC分类号：
C23C1404
C23C1412
代理机构：
北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138
代理人：
杨广宇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-11 | 公开 | 公开 |
| 2020-03-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20191129 |
| 2021-08-27 | 授权 | 授权 |