电弧蒸发源及真空蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680054700.2

申请日：

2006-06-22

公开(公告)号：

CN101448969A

公开(公告)日：

2009-06-03

发明(设计)人：

小泉康浩能势功一

申请人：

申请人地址：

日本国兵库县

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

衷诚宣

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-05-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101091475493 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2006800547002 公开日:20090603
2009-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-06-03	公开	公开

共 50 条

[1]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J·维特 .

中国专利 :CN101689468A ,2010-03-31

[2]

真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室 [P].

J.维特 .

中国专利 :CN105632859A ,2016-06-01

[3]

真空蒸镀装置用蒸发源及具备该蒸发源的真空蒸镀装置 [P].

深尾万里 ;

关根元气 .

日本专利 :CN118407003A ,2024-07-30

[4]

真空蒸镀用蒸发源，真空蒸镀装置及方法 [P].

魏洋 ;

范守善 .

中国专利 :CN107267924A ,2017-10-20

[5]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

阿力甫·库提鲁克 ;

梅新灵 ;

陈亚男 ;

洪巍 ;

方农华 .

中国专利 :CN114481039A ,2022-05-13

[6]

真空蒸镀设备及蒸发源装置 [P].

黄春泉 ;

周文炎 ;

邹以慧 ;

包立强 ;

丁度泽 .

中国专利 :CN208776823U ,2019-04-23

[7]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

邹清华 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN110777334B ,2020-02-11

[8]

真空蒸镀设备及蒸发源装置 [P].

黄春泉 ;

周文炎 ;

邹以慧 ;

包立强 ;

丁度泽 .

中国专利 :CN108660420A ,2018-10-16

[9]

真空蒸镀用蒸发源 [P].

魏洋 ;

魏浩明 ;

姜开利 ;

范守善 .

中国专利 :CN106676477B ,2017-05-17

[10]

蒸发源装置、真空蒸镀机和真空蒸镀方法 [P].

李云飞 ;

王煦 ;

张悦 ;

吴义超 ;

岳小非 ;

戴雷 ;

蔡丽菲 .

中国专利 :CN116005112B ,2025-08-05

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