真空蒸镀设备及蒸发源装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821192097.0

申请日：

2018-07-25

公开(公告)号：

CN208776823U

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

黄春泉周文炎邹以慧包立强丁度泽

申请人：

申请人地址：

517000 广东省河源市高新技术产业开发区高新二路163号创业服务中心三楼309-53室

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

阚梓瑄;王卫忠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	授权	授权

共 50 条

[1]

真空蒸镀设备及蒸发源装置 [P].

黄春泉 ;

周文炎 ;

邹以慧 ;

包立强 ;

丁度泽 .

中国专利 :CN108660420A ,2018-10-16

[2]

一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备 [P].

黄磊 ;

彭锐 ;

许凯 ;

叶志杰 ;

王欣欣 ;

贾文斌 ;

高昕伟 ;

魏钰 ;

窦义坤 .

中国专利 :CN205329148U ,2016-06-22

[3]

真空蒸镀装置用蒸发源及具备该蒸发源的真空蒸镀装置 [P].

深尾万里 ;

关根元气 .

日本专利 :CN118407003A ,2024-07-30

[4]

蒸发源和蒸镀装置 [P].

吴根辉 ;

张书晶 ;

伍丰伟 ;

刘志坤 ;

何敏贞 ;

林振超 .

中国专利 :CN119753587A ,2025-04-04

[5]

蒸发源装置和真空蒸镀设备 [P].

沐俊应 ;

马大伟 ;

乔永康 .

中国专利 :CN203976897U ,2014-12-03

[6]

组合式蒸发源系统及真空蒸镀设备 [P].

伽龙 ;

刘志康 ;

吴明忠 .

中国专利 :CN118639181A ,2024-09-13

[7]

真空蒸镀用蒸发源，真空蒸镀装置及方法 [P].

魏洋 ;

范守善 .

中国专利 :CN107267924A ,2017-10-20

[8]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

阿力甫·库提鲁克 ;

梅新灵 ;

陈亚男 ;

洪巍 ;

方农华 .

中国专利 :CN114481039A ,2022-05-13

[9]

电弧蒸发源及真空蒸镀装置 [P].

小泉康浩 ;

能势功一 .

中国专利 :CN101448969A ,2009-06-03

[10]

蒸发源及真空蒸镀系统 [P].

邹清华 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN110777334B ,2020-02-11

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